中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學(xué)院上海冶金研究所，是我國著名的技術(shù)學(xué)科綜合性研究所之一。其前身是成立于1928年的國立中央研究院工程研究所，新中國成立后隸屬于中國科學(xué)院，曾命名為中國科學(xué)院工學(xué)實驗館、中國科學(xué)院冶金陶瓷研究所。1958年、1959年本所先后分出組建了長沙礦冶研究院、昆明貴金屬所、中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所，又先后更名為中國科學(xué)院冶金研究所、中國科學(xué)院上海冶金研究所。2001年8月，根據(jù)研究所近年來科研領(lǐng)域的變遷和科技發(fā)展戰(zhàn)略目標(biāo)的調(diào)整，經(jīng)中國科學(xué)院和國家有關(guān)部門批準(zhǔn)將所名更改為中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所(以下簡稱上海微系統(tǒng)所)。

　　上海微系統(tǒng)所自新中國成立以來已獲得國家級獎勵50余項、部委省市級獎勵330余項。本所于50年代在國內(nèi)率先研制成功球墨鑄鐵，并成功解決了包頭高含氟鐵礦的冶煉和稀土元素回收問題；60年代初研制成功用于濃縮鈾235的關(guān)鍵部件“甲種分離膜”，該項目負(fù)責(zé)人吳自良院士作為“兩彈一星”功臣之一于1995年受到黨中央、國務(wù)院和中央軍委的表彰。

　　1998年5月，上海微系統(tǒng)所首批進(jìn)入中國科學(xué)院知識創(chuàng)新工程試點序列，經(jīng)對科技活動目標(biāo)進(jìn)一步凝煉，確定將本所建成一個以集成微系統(tǒng)為核心科技活動方向的、基礎(chǔ)技術(shù)力量雄厚的、富有持續(xù)創(chuàng)新活力的、開放的、國內(nèi)一流和國際知名的研究所。本所以國家需求為導(dǎo)向，圍繞“電子科學(xué)與技術(shù)”、“信息與通信工程”兩大學(xué)科方向，利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子工藝技術(shù)平臺為支持，以“無線傳感微系統(tǒng)網(wǎng)、微系統(tǒng)技術(shù)平臺、新一代移動通信技術(shù)”幾個重大項目為依托，以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料，加強原始創(chuàng)新，加強關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新與集成研究，開展低軌通信小衛(wèi)星及星座系統(tǒng)、集成微光機電系統(tǒng)、無線信息微系統(tǒng)、半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料與器件、太赫茲物理與器件、納電子材料與器件、SOI材料與器件、新型、高效微能源系統(tǒng)等研究活動。目前全所共有5個研究室：傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室/微系統(tǒng)技術(shù)國家級重點實驗室、信息功能材料國家重點實驗室、半導(dǎo)體功能薄膜工程研發(fā)中心/納米技術(shù)實驗室、中科院無線傳感網(wǎng)與通信重點實驗室、射頻與能源科學(xué)技術(shù)研究室；3個與地方共建的中心：中國科學(xué)院上海小衛(wèi)星工程部、上海無線通信研究中心、中科院嘉興中心微系統(tǒng)所分中心。上海微系統(tǒng)所擁有硅MEMS加工和封裝，化合物半導(dǎo)體材料MBE生長和半導(dǎo)體器件研制，微系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)設(shè)計、測試等技術(shù)平臺，以及微系統(tǒng)、微結(jié)構(gòu)器件，半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料的研究設(shè)備和研究能力。

　　全所現(xiàn)共有職工448名，其中科研技術(shù)人員280名，3名中國科學(xué)院和中國工程院院士，正副研究員112名。此外，全所共有332名在讀研究生，博士后及客座研究人員近50人。全所職工正為把我所辦成國際知名、國內(nèi)一流的科研院所而不懈努力。